Skenirajući elektronski mikroskop

Slika polenovih zrna snimljena na SEM-u pokazuje karakterističnu dubinu polja za SEM mikrografije

M. von Ardenneov prvi SEM

Princip rada skenirajućeg elektronskog mikroskopa (SEM)

SEM sa otvorenom komorom za uzorke

Skenirajući elektronski mikroskop (SEM) je vrsta elektronskog mikroskopa koji proizvodi slike uzorka skeniranjem površine fokusiranim snopom elektrona. Elektroni stupaju u interakciju s atomima u uzorku, proizvodeći različite signale koji sadrže informacije o topografiji površine i sastavu uzorka. Elektronski snop se skenira u rasterskom uzorku skeniranja, a položaj snopa se kombinuje sa intenzitetom detektovanog signala kako bi se dobila slika. U najčešćem SEM modu, sekundarni elektroni koje emituju atomi pobuđeni elektronskim snopom detektuju se pomoću sekundarnog detektora elektrona (Everhart-Thornley detektor ). Broj sekundarnih elektrona koji se mogu detektovati, a samim tim i intenzitet signala, zavise, između ostalog, od topografije uzorka. Neki SEM-ovi mogu postići rezolucije veće od 1 nanometra.

Uzorci se posmatraju u visokom vakuumu u konvencionalnom SEM-u, ili u niskom vakuumu ili vlažnim uslovima u promjenljivom pritisku ili SEM-u okoline, i pri širokom rasponu kriogenih ili povišenih temperatura sa specijalizovanim instrumentima.